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屹唐半导体请求带有触摸式温度传感器的工件处理设备专利供给用于丈量半导体制作设备的部件的温度的办法
发布时间：2025-08-06 21:26:34 来源：旧版米乐体育app下载
金融界2025年8月6日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技能公司请求一项名为“带有触摸式温度传感器的工件处理设备”的专利，公开号CN120435647A，请求日期为2023年11月。
专利摘要显现，供给了一种用于处理一个或多个工件的半导体制作设备。所述设备包含露出于射频能量或热量的一个或多个部件，以及被设置在所述一个或多个部件上的一个或多个光学触摸式温度传感器。还供给了用于丈量半导体制作设备的部件的温度的办法。
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